輝光離子氮化的工作過程及原理

輝光離子氮化的工作過程及原理 工作過程： 輝光離子氮化是指利用輝光放電現象使工件表面滲入氮原子的熱處理方法，采用專用的輝光離子氮化爐以工件為陰極，爐體為陽極。當爐內的真空度抽至（1~0.1Pa）后再通入氨氣，使真空室內壓力約66.65~1333.2Pa，在兩極之間加電壓為400~750V，電流密度為0.5~2.0mA/cm2的直流電。在高壓電場的作用下，產生輝光放電，氮氣發生部分分解形成氮和氫的正離子以及電子。具有高能量的氮離子轟擊工件表面，由動能轉化為熱能和加熱工件，與此同時氮離子吸取電子還原成原子被工件表面吸收并向內層擴散，離子轟擊工件表面還產生陰極濺射，濺射出的鐵離子與氮離子化合形成氮化鐵FeN,FeN重新附著在工件表面，然后分解成為Fe2N和Fe3N,并放出氮原子向工件內擴散. 原理： 輝光離子氮化是利用輝光放電原理進行的，輝光放電是當氣體越過電暈放電區之后，若減小外電路電阻，或提高全電路電壓，繼續增加放電功率，放電電流將不斷上升，同時輝光逐漸擴展到兩電極之間的整個放電空間，發光也越來越明亮，當電子能提高，則能使電暈放電過渡到輝光放電。