離子氮化爐可以在高溫下正常工作

第一步：首先將離子氮化爐體與供氣系統分離，目的是分清漏氣是由爐體造成的還是由供氣系統造成的。將進氣管與鐘罩分離，然后將進氣接頭處封死啟動真空泵抽真空,抽到較高真空度(如30Pa左右或更高)后，關閉蝶閥，停頓一段時間(15-30分鐘)后，觀察設備的漏氣情況。第二步：在完成第一步工作后，若離子氮化爐體漏氣，則應逐個檢查可能產生漏氣的各密封部位(包括觀察窗、充氣裝置、鐘罩下部密封法蘭面、底盤上的大密封圈、測壓部分密封處、陰極部位密封處、蝶閥及抽氣管道之間的聯結法蘭面等)，直至離子氮化爐體基本不漏氣為止，注意在實施以下檢查步驟時，要遵循"分 段"檢查法的原則，即一個步驟一個步驟進行，每完成一個檢查步驟后，抽真空觀察檢查效果。如果漏氣問題得以解決，則不再進行其它檢查，否則，再依次做檢查。第三步：在完成第一步的工作后，若離子氮化爐體不漏氣，說明爐體各個密封部位完好，接著再慢慢地打開蝶閥。第四步：在完成前三步工作，已解決離子氮化爐體漏氣問題或確認漏氣不是由爐體引起后，重新將第一步中與離子氮化爐體脫離的進氣管連接到爐體鐘罩上(并保證 接頭處密封完好)。先關死各流量計，再啟動真空泵對爐體抽真空，此步驟的目的是檢查供氣系統的漏氣情況，若發現設備又存在漏氣，可檢查進氣接頭部分，氣管，各種氣源流量匯流三通各連接處的密封情況，直至漏氣問題排除。